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箱包铝材

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箱包铝材

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  由于加工精度更庞大的污染进程,使温度动摇范畴的要求越来越小。比方,在大范围集成电路的消费的光刻曝光进程中,掩模资料是玻璃和硅的热收缩系数之间的差别越来越小的要求。直径为100微米的硅晶片的温度上升到一个水平,铝材就惹起了0.24um的线性收缩,因而须有一个恒定的温度的±0.1度,而需求的湿度值通常较低,由于人汗后的产物将有净化,尤其是他们惧怕钠半导体厂,这家工场应该不会超越25度。
  高湿度发生更多的题目。当绝对湿度超越55%时,冷凝管内壁将是,假如有一个精确的设置装备摆设或电路,可惹起种种变乱。绝对湿度在50%的防锈。别的,高湿度的氛围中时,水经过在晶片外表粘附分子化学吸附在外表上的尘土电阻难以去除。绝对湿度越高,附着撤除,假如绝对湿度低于30%时,很容易吸附在粒子外表上的静电的影响的难度,同时少量容易发作击穿的半导体器件。关于晶圆消费35-45%的zui佳温度范畴内。
  在污染箱包铝材室中要求的压力:
  关于大少数的干净室中,为了避免从外界净化,需求坚持的外部压力(静压)高于外界的压力(静压)。要坚持压力差应契合下列普通准绳:
  1、洁净的空间压力高于非干净空间的压力。
  2、高程度的干净高于相邻的空间中的压力程度低的干净度的空间中的压力。
  3、类似之处干净室的开门,高程度的房间的干净度。
  依赖于新颖的氛围,坚持的压力差,新颖氛围可以从该间隙走漏出风的压力差,以赔偿。

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